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플라즈마 패터닝 기법으로 리프트-오프 공정없이 메타 표면 제작
대표 URL https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/adma.202001534
작성자 관리자 게시일 2020.07.13 조회수 1,027

영국 Southampton 대학의 연구진은 기존의 리프트-오프 방식 과정을 생략하고 플라즈마 패터닝 방법으로 평면 메타표면을 만드는 기술을 개발하였다. 종래의 방식에서는 공정 후 표면이 원하지 않는 형태가 되어 성능이 저하되는 단점이 있었다.

전자의 밀도가 높아서 가시광에서는 부도체이지만 적외선에서는 도체의 성질을 가지는 Al 도핑된 ZnO (AZO) 필름을 이용하였다. 산소 플라즈마를 처리하여 전자의 농도를 십만배 떨어뜨려 적외선에서의 유전율과 투과율을 변화시켰다. 설계된 패턴으로 플라즈마 패터닝 공정으로 제작한 경우 메타표면의 특성을 나타내었다.

본 기술은 표면의 평탄도를 변화시키지 않고 간단한 공정으로 메타표면을 제작할 수 있는 새로운 기술로 메타표면을 응용한 다양한 분야에 적용될 수 있을 것이다.

Embedded Metal Oxide Plasmonics Using Local Plasma Oxidation of AZO for Planar Metasurfaces, Adv. Matter. 32, 2001534 (2020).

[담당자: 강보영(bykang@kimm.re.kr, 7649)]

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