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Large Metalens at Visible Wavelength Using Deep-Ultraviolet Projection Lithography 글보기
Large Metalens at Visible Wavelength Using Deep-Ultraviolet Projection Lithography
대표 URL https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acs.nanolett.9b03333
작성자 관리자 게시일 2020.01.15 조회수 1,304

메타렌즈는 나노 구조를 이용한 평면 렌즈로 현미경, 카메라, 센서, 디스플레이 등에서 응용할 수 있어 주목을 받고 있다. 하지만 지금까지 제안된 메타렌즈의 크기에 제약이 있었다. 하버드 대 Capasso 교수 그룹에서는 VR 과 같은 저조도 환경에서 응용을 위해 렌즈의 구경이 cm 급인 메타렌즈를 개발하였다. 종래의 e-beam 리소그래피를 사용하지 않고 DUV (Deep-ultraviolet) 전사 리소그래피 방식을 이용하여 정교한 나노 기둥 구조를 넓은 면적에서 가공할 수 있었다. 이 메타렌즈는 1 cm 직경, 5 cm 초점거리를 갖는 렌즈로, 상용 렌즈와 비교하여 더 높은 해상도를 가짐을 확인하였다. 

 

https://phys.org/news/2019-12-mass-producible-centimeter-scale-metalens-vr-imaging.html

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