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마이크로 소자의 곡면 전사방법 및 마이크로 소자의 곡면 전사장치

지식재산권구분 특허 출원/등록번호 10-2018-0080375
출원/등록 출원 출원/등록일 20180711
국내/국제 국내
국가명 Korea, Republic of
출원/등록기관 한국기계연구원, 파동에너지극한제어연구단
발명자명 장봉균;김재현;김경식;이승모;정현준;이학주
과제명 극한물성시스템 기계 융합기술
연구기관 한국기계연구원
연구책임자 김재현
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