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나노 임프린팅과 플라즈마 식각 방식에 의한 고민감도 나노선 센서의 저비용 대량생산 방식의 제조방법

지식재산권구분 특허 출원/등록번호 10-2016-0021571
출원/등록 출원 출원/등록일 10-2016-0021571
국내/국제 국내
국가명 Korea, Republic of
출원/등록기관 전북대학교 산학협력단, 한국기계연구원
발명자명 임연호, 김진태, 유찬석, 정희춘, 김종화
과제명 극한물성시스템 제조 플랫폼기술
연구기관 한국기계연구원
연구책임자 정준호
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