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Dynamic optical head layer and lithography method using the same

지식재산권구분 특허 출원/등록번호 9519222
출원/등록 등록 출원/등록일 9519222
국내/국제 국외
국가명 United States
출원/등록기관 연세대학교 산학협력단
발명자명 강신일,한정진,조익현,조영걸,최세영
과제명 극한물성시스템 제조 플랫폼기술
연구기관 한국기계연구원
연구책임자 정준호
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