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Enhanced uniformity in electrical and optical properties of ITO thin films using a wide thermal annealing system

학술지명 MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ISSN 1369-8001
SCI 유무 SCI 게재연월 201806
표준화된 순위정보영향력지수 66.89655172 Vol.
IF 2.593 Citation
저자 "성세종, 박인성
초록
Keyword
과제명 극한물성시스템 제조 플랫폼기술
연구기관 한국기계연구원
연구책임자 정준호
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