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Uniform dehydrogenation of amorphous silicon thin films using a wide thermal annealing system

학술지명 SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY ISSN 0268-1242
SCI 유무 Y 게재연월 201702
표준화된 순위정보영향력지수 Vol. 32(2)
IF 2.098 Citation
저자 Jung, Yong Chan; Seong, Sejong; Lee, Taehoon; Ahn, Jinho; Kim, Tae Hyun; Yeo, Won-Jae; Park, In-Sung;
초록
Keyword
과제명 극한물성 이용 열전소자기술 개발
연구기관 한국기계연구원
연구책임자 정준호
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