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Design and fabrication of a tip-on-aperture probe for resolution enhancement of optical patterning

학술지명 MICROELECTRONIC ENGINEERING ISSN 0167-9317
SCI 유무 Y 게재연월 201602
표준화된 순위정보영향력지수 Vol. 151(0)
IF 1.197 Citation
저자 Kim, J. -B.; Chang, W. S.;
초록
Keyword
과제명 전자기 파동에너지 극한제어 기술
연구기관 한국기계연구원
연구책임자 정준호
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